专用图形发生器组成：

　　高速数字信号处理器（DSP）；

　　高精度图形数据采集器；

　　先进、快速的SCSI接口带有温控的16位数模转换器（D/A）5”液晶跟踪显示器（LCD）控制用PC计算机（Windows操作系统）；

专用图形发生器软件功能：

　　接受GDSⅡ、CIF和DXF图形数据格式；

　　绘图功能（矩形、三角形、梯形、圆形、圆环、扇 形和任意曲线图形）；

　　加工过程控制（曝光、工件台移动、束闸通断）；

　　扫描场位置、尺寸和旋转修正；

　　标记检测与位置修正；

　　邻近效应修正；

　　加工过程跟踪显示；